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Bild 1: Schemadarstellung des Ausheilvorgangs
Bild 2: Isolierhof nach dem Ausheilvorgang
Der Prozess der Ausheilung wird durch einen elektrischen Durchschlag, der in ca. 10-8 sec. abläuft, eingeleitet. Das Dielektrikum wird im Durchschlagskanal in ein hochkomprimiertes Plasma umgesetzt, das aus dem Durchschlagskanal herausdrängt und die Dielektrikumsschichten auseinanderdrückt (Bild 1).
In dem sich ausbreitenden Plasma setzt sich die Entladung über die Metallbeläge fort. Es treten Temperaturen von schätzungsweise 6000 K auf, dabei bilden sich isolierende Höfe um die ursprünglich vorhandene Fehlstelle (Bild 2). Diese schnelle Löschung des Plasmas ist notwendig, um Folgeschäden an der über der Fehlstelle liegenden Dielektrikumslage zu vermeiden.
Der Druck zwischen den Lagen darf nicht zu groß sein, um eine rasche Ausdehnung des Plasmas vom Durchschlagskanal aus zu ermöglichen. Große Teile des Plasmas geraten in Gebiete geringer Feldstärke.
Der eindwandfreie Ablauf des Ausheilvorganges hängt von der Dicke der Metallisierung, von der chemischen Zusammensetzung und von der Höhe der angelegten Spannung ab; wobei -abgesehen von der chemischen Zusammensetzung- die Fertigungsbedingungen die Voraussetzung für das optimale Ausheilen schaffen müssen.